華中科技大學(xué)聯(lián)合武漢頤光科技科技有限公司開發(fā)的“高精度寬光譜穆勒矩陣橢偏測量關(guān)鍵技術(shù)與納米測量應(yīng)用”項(xiàng)目榮獲湖北省技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)。此獎(jiǎng)項(xiàng)由省人民政府設(shè)立，經(jīng)省科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)勵(lì)評審委員會(huì)評審、省科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)勵(lì)委員會(huì)審議，湖北省人民政府決定后終授予，旨在深入實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略，建設(shè)創(chuàng)新強(qiáng)省，獎(jiǎng)勵(lì)為省科技事業(yè)進(jìn)步、經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展作出突出貢獻(xiàn)的科學(xué)技術(shù)人員和組織。
穆勒矩陣橢偏儀廣泛應(yīng)用于IC制造、平板顯示、光電子器件、光伏太陽能、柔性電子等國家新興戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)中的納米材料、納米結(jié)構(gòu)與納米器件的基礎(chǔ)科學(xué)研究、制造工藝優(yōu)化、量產(chǎn)在線監(jiān)測等諸多環(huán)節(jié)，在*具有戰(zhàn)略意義。
“高精度寬光譜穆勒矩陣橢偏測量關(guān)鍵技術(shù)與納米測量應(yīng)用”項(xiàng)目所研發(fā)的穆勒矩陣橢偏儀代表了橢偏儀技術(shù)的高水平，其研制過程主要面臨寬光譜全穆勒矩陣偏振調(diào)制技術(shù)、穆勒矩陣橢偏測量系統(tǒng)參數(shù)精密校準(zhǔn)與誤差修正技術(shù)、復(fù)雜納米結(jié)構(gòu)薄膜橢偏測量理論與方法三個(gè)方面的技術(shù)挑戰(zhàn)，由華中科技大學(xué)與武漢頤光科技有限公司歷時(shí)10余年攻克技術(shù)難關(guān)，在*國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)、國家863計(jì)劃、國家自然科學(xué)基金等多個(gè)*項(xiàng)目支持下，通過原理創(chuàng)新，成功研制出我國*臺(tái)具有*自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高精度寬光譜穆勒矩陣橢偏儀，實(shí)現(xiàn)了成果轉(zhuǎn)化與產(chǎn)業(yè)化。
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